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成都真空镀膜机


成都龙8机械设备有限公司带大家一起来看一下成都真空镀膜机的参数:

一、真空镀膜机主要用途:

供制备薄膜无源微型元件。

二、主要技术指标:

1.          蒸发室极限真空度:       4×10-4Pa

2.          蒸发室恢复4×10-3Pa的时间:  ≤15min

3.          基片旋转架的转速:           0~60n/min

4.          基片烘烤温度:               室温~350℃

5.          蒸发电极数量:               3对

6.          蒸发电极参数:                0~10伏   0~300A

7.          离子轰击参数:                0~3000伏  0~200mA

8.          钟罩容积:                    Φ500×620(mm)

9.          需要动力:                   电力    10KW

10.         外形尺寸:                     1300×830×1720(mm)

四川真空镀膜机

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